丹山直流磁控溅射电源设备厂扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,优质直流磁控溅射电源设备厂装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环无法进入工作状态。
丹山直流磁控溅射电源设备厂真空镀膜电源每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。优质直流磁控溅射电源设备厂当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
丹山直流磁控溅射电源设备厂镜片在接受镀膜前必须进行预清洗,这种清洗要求很高,达到分子级。在清洗槽中分别放置各种清洗液,并采用超声波加强清洗效果,当镜片清洗完后,放进真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面。优质直流磁控溅射电源设备厂最后的清洗是在真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面。最后的清洗是在真空舱内镀前进行的,放置在真空舱内的离子枪将轰击镜片的表面(例如用氩离子),完成此道清洗工序后即进行减反射膜的镀膜。
丹山直流磁控溅射电源设备厂在真空镀膜时,使用直流负偏压电源,其中运用直流电源,这个电源的电子方向一直统一,会导致单一品种电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再持续。所以选用脉冲电源。优质直流磁控溅射电源设备厂真空镀膜一种由物理办法发生薄膜资料的技能。在真空室内资料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的外表上。此项技能樶先用于出产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功用薄膜,唱片镀铝、装修镀膜和资料外表改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。
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