宁波专业中频磁控溅射电源设备厂

宁波中频磁控溅射电源设备厂真空镀膜电源每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。专业中频磁控溅射电源设备厂当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

宁波中频磁控溅射电源设备厂扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，专业中频磁控溅射电源设备厂装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环无法进入工作状态。

宁波中频磁控溅射电源设备厂一个镀种及其一切的镀槽要配置多大的和什么样的电源是施行电镀消费首要的重要工作。实践消费当中肯定肯定电镀电源有两种办法：一种要依据镀液容量来肯定的体积电流密度法；另一种是按受镀面积来计算的单位面积电流密度法。专业中频磁控溅射电源设备厂所谓体积电流密度，就是依据每升镀液镀液允许经过的最大电流来调整整个镀槽需求经过的电流强度，从而肯定所要用的电源最大和常规输出的功率。镀铜普通是0.2～0.3A/L，镀镍是0.1～2.5A/L，光亮镀镍是0.3～0.35A/L，酸性镀锌是0.5～0.6A/L，碱性镀锌可达1.2A/L，镀铬是2～3A/L。以镀亮镍为例，600L的镀液最大工艺电流可达0.3A/L×600L=180A，这样选用200A的电源即可。

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